金屬密封的超高真空法蘭對(duì)于需要頻繁放入大氣更換工件的超高真空系統(tǒng)，每次重新拆裝容器法蘭由于刀口壓痕的不重合或刀口受到損傷，難以確保可靠地密封，特別是使用一次性密封的金屬墊圈，在每次打開容器時(shí)，都需要更換新的法蘭密封圈，鋁箔密封的法蘭，在高溫烘烤時(shí)往往會(huì)因擴(kuò)散焊而黏附在不銹鋼法蘭面上難以去除，給更換密封圈帶來(lái)麻煩，對(duì)于極限壓力不高于10^-6~10^-7Pa的超高真空系統(tǒng)，可采用氟橡膠密封，并采取相應(yīng)措施減少橡膠出氣速率比金屬大的缺點(diǎn)。

    氟橡膠可承受250~300℃的高溫烘烤，在受壓的條件下，能長(zhǎng)期工作在125℃。它比常用的丁腈橡膠出氣速率低。

    盡量采用截面直徑較小的O形橡膠圈，在密封槽設(shè)計(jì)時(shí)，選用兩法蘭能壓緊在一起使暴露在真空側(cè)橡膠面積最小的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。常用的O形橡膠圈密封槽尺寸如下圖所示，膠圈的壓縮量為O形圈截面直徑的30%，槽寬至少是O形圈截面直徑的1.4倍，O形圈的內(nèi)徑應(yīng)略小于密封槽的內(nèi)徑，裝配后可使橡膠圈緊貼在密封槽內(nèi)，O形圈向外有足夠的橫向變形空間，兩個(gè)法蘭平面緊壓在一起可將O形圈全部壓入密封槽內(nèi)而不會(huì)從槽中擠壓出來(lái)。為便于加工，密封槽底面角可加工成半徑等于O形圈截面直徑1/5圓角，密封面的粗糙度至少要達(dá)到1.6μm(最好為0.8μm)，槽的外部邊沿倒角0.13mm，并需修整光潔避免裝配時(shí)劃傷O形圈。

O形橡膠圈密封槽尺寸

    降低橡膠密封圈的溫度或采用中間抽氣的雙道密封圈，能有效地降低橡膠的出氣速率和漏氣率。
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